一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821017010.6
申请日
2018-06-15
公开(公告)号
CN208594334U
公开(公告)日
2019-03-12
发明(设计)人
李朝林 罗海健 周明明
申请人
申请人地址
518055 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈工大校区
IPC主分类号
C23F146
IPC分类号
C25C112 C25C700 C23F118
代理机构
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人
任志龙
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法 [P]. 
李朝林 ;
罗海健 ;
周明明 .
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[2]
一种碱性蚀刻废液铜回收及蚀刻液再生系统 [P]. 
李嘉辉 ;
郭子恺 ;
刘仁和 ;
朱晓文 .
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[3]
一种蚀刻废液铜回收及蚀刻液再生方法 [P]. 
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[4]
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[5]
一种微蚀刻液的再生循环装置 [P]. 
罗宝奎 ;
陈永江 .
中国专利 :CN109972141A ,2019-07-05
[6]
一种微蚀刻液的再生循环方法 [P]. 
罗宝奎 ;
陈永江 .
中国专利 :CN109972142A ,2019-07-05
[7]
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中国专利 :CN114751385A ,2022-07-15
[8]
一种硫酸微蚀刻废液的再生方法 [P]. 
陈琪 .
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[9]
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[10]
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陆柏灿 ;
沈天晓 ;
朱振华 ;
何天阳 .
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