一种微蚀刻液的再生循环方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711453761.2

申请日：

2017-12-28

公开(公告)号：

CN109972142A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

罗宝奎陈永江

申请人：

申请人地址：

510700 广东省广州市黄埔区沙步大路17号503房

IPC主分类号：

C23F146

IPC分类号：

C25C112

代理机构：

北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515

代理人：

朱庆华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F 1/46 申请公布日:20190705
2019-07-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种微蚀刻液的再生循环装置 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972141A ,2019-07-05

[2]

一种酸性蚀刻液再生循环装置 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972138A ,2019-07-05

[3]

微蚀刻液再生回收装置 [P].

梁民 .

中国专利 :CN208023089U ,2018-10-30

[4]

一种酸性蚀刻液再生循环方法 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972139A ,2019-07-05

[5]

一种碱性蚀刻液的循环再生装置 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972143A ,2019-07-05

[6]

一种碱性蚀刻液的循环再生方法 [P].

罗宝奎 ;

陈永江 .

中国专利 :CN109972140A ,2019-07-05

[7]

一种碱性蚀刻液循环再生系统及其方法 [P].

苗润昌 .

中国专利 :CN109440111A ,2019-03-08

[8]

一种碱性蚀刻液循环再生系统及其方法 [P].

罗万里 .

中国专利 :CN108914129A ,2018-11-30

[9]

一种再生液再循环的酸性蚀刻废液循环再生系统 [P].

韦建敏 ;

吴梅 ;

赵兴文 ;

张晓蓓 ;

张小波 .

中国专利 :CN204918775U ,2015-12-30

[10]

一种再生液再循环的酸性蚀刻废液循环再生系统 [P].

韦建敏 ;

吴梅 ;

赵兴文 ;

张晓蓓 ;

张小波 .

中国专利 :CN105177582A ,2015-12-23

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