一种平行平面间距测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410011230.8

申请日：

2014-01-10

公开(公告)号：

CN104776782B

公开(公告)日：

2015-07-15

发明(设计)人：

郭耸

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G01B514

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101620060240 IPC(主分类):G01B 5/14 专利申请号:2014100112308 申请日:20140110
2018-03-02	授权	授权
2017-09-29	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760040278 IPC(主分类):G01B 5/14 专利申请号:2014100112308 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2015-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种平面平行度测量装置及测量方法 [P].

孔小辉 ;

李安然 ;

郑媛 .

中国专利 :CN107677219A ,2018-02-09

[2]

快速高精度平面平行度测量装置及测量方法 [P].

王鸣山 ;

张贾强 ;

徐鑫 .

中国专利 :CN109405734A ,2019-03-01

[3]

一种物体间距测量装置及测量方法 [P].

伍文勇 .

中国专利 :CN112304206A ,2021-02-02

[4]

一种物体间距测量装置及测量方法 [P].

伍文勇 .

中国专利 :CN112304206B ,2025-03-14

[5]

一种平行平面参数在机测量系统及测量方法 [P].

刘常杰 ;

阎超 .

中国专利 :CN111060010A ,2020-04-24

[6]

一种平面平行度批量测量方法 [P].

孔小辉 ;

李安然 ;

郑媛 .

中国专利 :CN109387162A ,2019-02-26

[7]

一种平面周期结构的测量装置及测量方法 [P].

张斌 ;

陶卫东 ;

潘雪丰 ;

董建峰 .

中国专利 :CN102706276B ,2012-10-03

[8]

间距测量装置及设备内构件间距测量方法 [P].

王朝春 ;

何双岁 .

中国专利 :CN119554983A ,2025-03-04

[9]

一种平面度测量装置及测量方法 [P].

张军 ;

赵涵 ;

陈毅 .

中国专利 :CN110186363A ,2019-08-30

[10]

一种间距测量装置及其测量方法 [P].

吴贵阳 .

中国专利 :CN118857123A ,2024-10-29

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