薄膜质量检测方法和薄膜质量检测系统

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专利类型
发明
申请号
CN201510993892.4
申请日
2015-12-25
公开(公告)号
CN106918597A
公开(公告)日
2017-07-04
发明(设计)人
张健 冯礼 秦庆旺 冯治国 卢继兵 韩英魁 朱强
申请人
申请人地址
100070 北京市丰台区科学城中核路5号
IPC主分类号
G01N2188
IPC分类号
代理机构
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343
代理人
尚志峰;汪海屏
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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质量检测系统和方法 [P]. 
刘学谨 ;
蔡仲伦 ;
陈岳 ;
代通 ;
卢发报 .
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[10]
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