一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611256206.6

申请日：

2016-12-30

公开(公告)号：

CN106706641B

公开(公告)日：

2017-05-24

发明(设计)人：

叶昱均

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

G01N2184

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权
2017-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101727783518 IPC(主分类):G01N 21/84 专利申请号:2016112562066 申请日:20161230
2017-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统 [P].

叶昱均 ;

唐丽娟 ;

李勇 ;

王志刚 ;

李子健 .

中国专利 :CN105092473A ,2015-11-25

[2]

一种低温多晶硅薄膜的制作方法和低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102709160B ,2012-10-03

[3]

多晶硅质量检测样品的制备方法及质量检测方法 [P].

张强 ;

沈建飞 .

中国专利 :CN107689334B ,2018-02-13

[4]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[5]

一种多晶硅的制作方法及多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 .

中国专利 :CN106229254B ,2016-12-14

[6]

一种区熔用多晶硅的质量检测方法及系统 [P].

吴锋 ;

马一雷 ;

田新 ;

蒋文武 .

中国专利 :CN118112003A ,2024-05-31

[7]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[8]

薄膜质量检测方法和薄膜质量检测系统 [P].

张健 ;

冯礼 ;

秦庆旺 ;

冯治国 ;

卢继兵 ;

韩英魁 ;

朱强 .

中国专利 :CN106918597A ,2017-07-04

[9]

触媒法生产多晶硅和多晶硅薄膜的方法 [P].

郑光元 .

中国专利 :CN101928983A ,2010-12-29

[10]

多晶硅结晶质量检测装置 [P].

刘丰 .

中国专利 :CN201444141U ,2010-04-28

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