一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510408380.7

申请日：

2015-07-13

公开(公告)号：

CN105092473A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

叶昱均唐丽娟李勇王志刚李子健

申请人：

申请人地址：

430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

G01N2117

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638525376 IPC(主分类):G01N 21/17 专利申请号:2015104083807 申请日:20150713
2018-11-02	授权	授权
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统 [P].

叶昱均 .

中国专利 :CN106706641B ,2017-05-24

[2]

多晶硅质量检测样品的制备方法及质量检测方法 [P].

张强 ;

沈建飞 .

中国专利 :CN107689334B ,2018-02-13

[3]

一种区熔用多晶硅的质量检测方法及系统 [P].

吴锋 ;

马一雷 ;

田新 ;

蒋文武 .

中国专利 :CN118112003A ,2024-05-31

[4]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[5]

触媒法生产多晶硅和多晶硅薄膜的方法 [P].

郑光元 .

中国专利 :CN101928983A ,2010-12-29

[6]

多晶硅结晶质量检测装置 [P].

刘丰 .

中国专利 :CN201444141U ,2010-04-28

[7]

一种低温多晶硅薄膜的制作方法和低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102709160B ,2012-10-03

[8]

一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法 [P].

叶昱均 ;

黄政仕 ;

方赞源 ;

任东 ;

韩开 .

中国专利 :CN105738379A ,2016-07-06

[9]

一种多晶硅薄膜制作方法及多晶硅薄膜 [P].

任庆荣 ;

李良坚 ;

刘政 .

中国专利 :CN107017153A ,2017-08-04

[10]

多晶硅原料表面质量检测方法及检测装置 [P].

魏奎先 ;

谭宁 ;

马文会 .

中国专利 :CN117269197B ,2024-02-02

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