一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810697432.0

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN108878272A

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

高超飞葛晶涛刘旭亮沈文涛张明照

申请人：

申请人地址：

065000 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区

IPC主分类号：

H01L21203

IPC分类号：

H01L21205 H01L29786 H01L2916

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

孟潭

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/203 申请公布日:20181123
2018-11-23	公开	公开
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/203 申请日:20180629

共 50 条

[1]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[2]

多晶硅薄膜 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN202058744U ,2011-11-30

[3]

多晶硅薄膜、多晶硅薄膜晶体管及阵列基板的制备方法 [P].

刘政 .

中国专利 :CN103972050A ,2014-08-06

[4]

低温多晶硅薄膜的制备方法、制备设备及低温多晶硅薄膜 [P].

张隆贤 ;

余威 .

中国专利 :CN104404617A ,2015-03-11

[5]

一种多晶硅薄膜制作方法及多晶硅薄膜 [P].

任庆荣 ;

李良坚 ;

刘政 .

中国专利 :CN107017153A ,2017-08-04

[6]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

张进 .

中国专利 :CN108987247A ,2018-12-11

[7]

低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及低温多晶硅TFT基板 [P].

张瑞军 ;

卢马才 ;

王松 .

中国专利 :CN108831894A ,2018-11-16

[8]

多晶硅薄膜及用非晶硅低温诱导制备多晶硅薄膜的方法 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

周丽萍 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN102201461A ,2011-09-28

[9]

多晶硅薄膜形成方法、掩膜版、多晶硅薄膜和薄膜晶体管 [P].

李栋 ;

陆小勇 ;

张帅 ;

刘政 ;

龙春平 .

中国专利 :CN105185694A ,2015-12-23

[10]

形成多晶硅薄膜的方法及包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管 [P].

官大新 ;

叶昱均 ;

闫立志 ;

韩开 .

中国专利 :CN105990098B ,2016-10-05

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