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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-04 | 公开 | 公开 |
| 2016-06-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101662915995 IPC(主分类):H01L 21/77 专利申请号:201610091331X 申请日:20160218 |
| 2019-08-30 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/77 申请公布日:20160504 |