一种晶圆检查台宏观照明装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201621390641.3
申请日
2016-12-16
公开(公告)号
CN206361420U
公开(公告)日
2017-07-28
发明(设计)人
姚军 顾宁
申请人
申请人地址
201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区泰谷路169号C座1层
IPC主分类号
F21K920
IPC分类号
F21V800 F21V500 H01L2166 F21Y11510
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
顾正超
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
新型晶圆检查台宏观照明装置 [P]. 
魏盘生 .
中国专利 :CN208123910U ,2018-11-20
[2]
宏观照明装置 [P]. 
神崎和宏 .
中国专利 :CN1537225B ,2004-10-13
[3]
晶圆宏观检查模组 [P]. 
田金泉 ;
王广禄 ;
李涛 ;
陈曦 .
中国专利 :CN222507535U ,2025-02-18
[4]
一种晶圆的晶背宏观检查装置 [P]. 
孙灿杰 ;
李涛 ;
王广禄 ;
陈曦 ;
柯华榕 .
中国专利 :CN213042880U ,2021-04-23
[5]
一种晶圆的晶面宏观检查装置 [P]. 
孙灿杰 ;
李涛 ;
王广禄 ;
陈曦 ;
柯华榕 .
中国专利 :CN213042881U ,2021-04-23
[6]
一种晶圆宏观检查用LED强光灯 [P]. 
张培义 .
中国专利 :CN213930539U ,2021-08-10
[7]
晶圆检查装置、晶圆检查系统、晶圆检查方法以及程序 [P]. 
佐佐木和博 .
日本专利 :CN120917555A ,2025-11-07
[8]
晶圆表面宏观检测装置 [P]. 
夏儒斐 .
中国专利 :CN213932603U ,2021-08-10
[9]
一种景观照明装置 [P]. 
王慧 ;
曹文珺 .
中国专利 :CN208779330U ,2019-04-23
[10]
一种景观照明装置 [P]. 
李宝章 .
中国专利 :CN202733624U ,2013-02-13