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一种晶圆的晶面宏观检查装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021907940.6
申请日：
2020-09-04
公开(公告)号：
CN213042881U
公开(公告)日：
2021-04-23
发明(设计)人：
孙灿杰
李涛
王广禄
陈曦
柯华榕
申请人：
申请人地址：
361101 福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号105室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-23 | 授权 | 授权 |