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一种晶圆检查机送料装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022864059.9
申请日：
2020-12-03
公开(公告)号：
CN214732647U
公开(公告)日：
2021-11-16
发明(设计)人：
钟金鹏
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区星汉街5号B幢5层15/16单元
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
G01N2195 G01N2101
代理机构：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人：
李娅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-16 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆检查机送料装置 [P]. 
关汉斌 .
中国专利 :CN215869322U ,2022-02-18
[2]
一种晶圆检查机 [P]. 
钟金鹏 .
中国专利 :CN213936121U ,2021-08-10
[3]
一种晶圆检查机定位装置 [P]. 
关汉斌 .
中国专利 :CN215933555U ,2022-03-01
[4]
一种晶圆检查机 [P]. 
吴昌浩 ;
李涛 ;
王广禄 ;
陈曦 ;
柯华榕 .
中国专利 :CN212257361U ,2020-12-29
[5]
一种晶圆套刻检查机 [P]. 
姜红波 .
中国专利 :CN222939877U ,2025-06-03
[6]
一种晶圆检查机定位装置 [P]. 
钟金鹏 .
中国专利 :CN214669159U ,2021-11-09
[7]
一种全自动晶圆贴膜送料装置 [P]. 
王炳星 ;
宋宇驰 .
中国专利 :CN216528798U ,2022-05-13
[8]
一种晶圆送料装置 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 .
中国专利 :CN117747516A ,2024-03-22
[9]
一种晶圆送料装置 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 .
中国专利 :CN117747516B ,2024-05-03
[10]
一种晶圆加工用送料装置 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217361530U ,2022-09-02
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