一种全自动晶圆贴膜送料装置

被引：0

申请号：

CN202122595296.4

申请日：

2021-10-27

公开(公告)号：

CN216528798U

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

王炳星宋宇驰

申请人：

申请人地址：

301800 天津市宝坻区中关村大道与西环北路交口协同发展中心3号楼1层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683 H01L2178

代理机构：

北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947

代理人：

陈文丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全自动晶圆贴膜送料装置 [P].

沈磊 .

中国专利 :CN210479141U ,2020-05-08

[2]

一种全自动晶圆贴膜机 [P].

张子运 ;

蔡道库 ;

刘少丽 ;

朱威莉 ;

孙健 .

中国专利 :CN208392644U ,2019-01-18

[3]

一种自动上料晶圆贴膜装置 [P].

陆宁宁 .

中国专利 :CN210489589U ,2020-05-08

[4]

一种贴膜自动送料装置 [P].

吴木松 .

中国专利 :CN209971542U ,2020-01-21

[5]

一种贴膜机送料装置 [P].

文海勇 ;

任显明 .

中国专利 :CN206085411U ,2017-04-12

[6]

一种晶圆检查机送料装置 [P].

钟金鹏 .

中国专利 :CN214732647U ,2021-11-16

[7]

晶圆贴膜检测装置 [P].

余炳强 ;

段亦锋 ;

闵炼锋 .

中国专利 :CN222951690U ,2025-06-06

[8]

一种贴膜送料装置 [P].

魏余红 ;

黄燕荣 .

中国专利 :CN208428663U ,2019-01-25

[9]

一种全自动卸料送料装置 [P].

梁平 ;

陈盼 ;

裴胜杰 ;

王需耀 .

中国专利 :CN221092839U ,2024-06-07

[10]

一种晶圆贴片环的自动送料装置 [P].

蒋松杰 ;

杨慧 .

中国专利 :CN222934722U ,2025-06-03

← 1 2 3 4 5 →