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一种自动上料晶圆贴膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921083839.0
申请日：
2019-07-11
公开(公告)号：
CN210489589U
公开(公告)日：
2020-05-08
发明(设计)人：
陆宁宁
申请人：
申请人地址：
201506 上海市金山区夏宁路818弄61号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
H01L2168
H01L21687
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-08 | 授权 | 授权 |