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一种晶圆检查机定位装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022864089.X
申请日：
2020-12-03
公开(公告)号：
CN214669159U
公开(公告)日：
2021-11-09
发明(设计)人：
钟金鹏
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区星汉街5号B幢5层15/16单元
IPC主分类号：
G01R104
IPC分类号：
G01D1100
代理机构：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人：
李娅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-09 | 授权 | 授权 |