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一种晶圆划片机定位装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023241671.7
申请日：
2020-12-29
公开(公告)号：
CN213660375U
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
马喜军
李亚林
杨亚东
申请人：
申请人地址：
450000 河南省郑州市经济技术开发区郑州国际物流园杨桥大街以西、龙飞街以东、环区南路以北
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L21687
B23K2602
代理机构：
郑州博派知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41137
代理人：
伍俊慧
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-09 | 授权 | 授权 |