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一种晶圆检查机送料装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121946596.6
申请日：
2021-08-18
公开(公告)号：
CN215869322U
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
关汉斌
申请人：
申请人地址：
314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道晋阳东路568号4号楼1楼4109-4111室（住所申报）
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126
代理人：
朱文军
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 授权 | 授权 |