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一种晶圆检查机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010729028.4
申请日：
2020-07-27
公开(公告)号：
CN111883459B
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
吴昌浩
李涛
王广禄
陈曦
柯华榕
申请人：
憬承光电科技（厦门）有限公司
申请人地址：
361101 福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号105室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-21 | 授权 | 授权 |