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一种晶圆运载检查机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411453621.5
申请日：
2024-10-17
公开(公告)号：
CN119361491A
公开(公告)日：
2025-01-24
发明(设计)人：
赵本晶
申请人：
东莞威仪嘉自动化设备有限公司
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城街道九龙路10号3栋103室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/67
代理机构：
东莞市尚标联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44822
代理人：
钟建星
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20241017 |