等离子体处理装置及等离子体的监视方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310051211.3

申请日：

2013-02-16

公开(公告)号：

CN103258706B

公开(公告)日：

2013-08-21

发明(设计)人：

藤野丰福田良则北川淳一山本伸彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520123975 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2013100512113 申请日:20130216
2016-04-27	授权	授权
2013-08-21	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

吉川润 ;

西塚哲也 ;

佐佐木胜 .

中国专利 :CN101521980A ,2009-09-02

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057465A ,2011-05-11

[3]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

冈山信幸 ;

松本直树 .

中国专利 :CN102217044A ,2011-10-12

[4]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102760633B ,2012-10-31

[5]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057760A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057762A ,2011-05-11

[7]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

松浦广行 ;

安藤武 .

中国专利 :CN113948362A ,2022-01-18

[8]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

安藤真 ;

高桥応明 ;

八坂保能 ;

石井信雄 .

中国专利 :CN1278392C ,2004-05-05

[9]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

中国专利 :CN101908460A ,2010-12-08

[10]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

石川拓 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101622698B ,2010-01-06

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