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光学检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010550699.0
申请日：
2010-11-19
公开(公告)号：
CN102148132B
公开(公告)日：
2011-08-10
发明(设计)人：
崔学峰
吕克振
申请人：
申请人地址：
201203 上海市张江高科技园区郭守敬路351号2号楼657-20室
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-10 | 公开 | 公开 |
| 2013-02-27 | 授权 | 授权 |
| 2018-01-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 登记生效日:20180105 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海微曦自动控制技术有限公司 变更后权利人:上海澜博半导体设备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市张江高科技园区郭守敬路351号2号楼657-20室 变更后权利人:201107 上海市闵行区朱建路333弄2号一层、二层 |
| 2011-09-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101110110586 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010105506990 申请日:20101119 |