谐振式扫描镜、扫描方法、角度的测量方法及加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711303151.4

申请日：

2017-12-08

公开(公告)号：

CN107907993A

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

叶良琛毛胜平张子夏向少卿李一帆

申请人：

申请人地址：

201821 上海市嘉定区叶城路925号A4栋二楼

IPC主分类号：

G02B2610

IPC分类号：

G02B2608 G01B1126

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/10 申请日:20171208
2021-03-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 26/10 申请公布日:20180413
2018-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

扫描镜的扫描参数测量方法 [P].

陈杰 ;

向少卿 .

中国专利 :CN110426181B ,2019-11-08

[2]

谐振式扫描镜幅值测量系统及方法 [P].

夏长锋 ;

何耀军 ;

谈鹏 ;

郑文会 ;

乔大勇 .

中国专利 :CN107402061A ,2017-11-28

[3]

扫描成像系统中扫描镜动态回差的测量方法 [P].

侯丽伟 ;

谢巍 ;

周德亮 ;

臧元章 ;

曹德华 ;

林一超 .

中国专利 :CN108152011A ,2018-06-12

[4]

扫描镜及扫描镜的制造方法 [P].

羽根一博 ;

佐佐木敬 ;

藤田裕树 .

中国专利 :CN113227874A ,2021-08-06

[5]

扫描反射镜振幅测量装置及测量方法 [P].

王兴海 ;

袁明波 ;

王海江 .

中国专利 :CN107664922B ,2018-02-06

[6]

基于光波导芯片的MEMS扫描镜角度测量装置及方法 [P].

王俊亚 ;

王楚 ;

尤政 .

中国专利 :CN120427235A ,2025-08-05

[7]

测量激光扫描速度的测量方法 [P].

久田幸平 ;

浅见大辅 ;

中村亘 ;

尾楠和幸 .

中国专利 :CN105891531A ,2016-08-24

[8]

整合扫描式光学测量方法 [P].

林耀明 .

中国专利 :CN101308011B ,2008-11-19

[9]

测量方法、扫描设备及存储介质 [P].

江腾飞 ;

徐玉凯 ;

赵晓波 ;

李仁举 ;

朱吴乐 ;

居冰峰 ;

张健 ;

王文斌 ;

孙安玉 ;

李洲强 ;

黄磊杰 .

中国专利 :CN118424150B ,2024-09-03

[10]

测量方法、扫描设备及存储介质 [P].

江腾飞 ;

徐玉凯 ;

赵晓波 ;

李仁举 ;

朱吴乐 ;

居冰峰 ;

张健 ;

王文斌 ;

孙安玉 ;

李洲强 ;

黄磊杰 .

中国专利 :CN118424150A ,2024-08-02

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