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干式化学分析仪（mWafer）
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN202030758230.0
申请日：
2020-12-10
公开(公告)号：
CN306444698S
公开(公告)日：
2021-04-06
发明(设计)人：
邹继华
方汝林
黄金龙
马东栋
陈远辉
申请人：
申请人地址：
315104 浙江省宁波市鄞州区启明南路289号
IPC主分类号：
2401
IPC分类号：
代理机构：
宁波甬致专利代理有限公司 33228
代理人：
李迎春
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-06 | 授权 | 授权 |