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基板搬运装置及搬运方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010501629.6
申请日：
2010-09-30
公开(公告)号：
CN102446795A
公开(公告)日：
2012-05-09
发明(设计)人：
久保岳
田畑正次
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人：
高培培;车文
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-05-21 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101701038461 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010105016296 申请公布日:20120509 |
| 2012-05-09 | 公开 | 公开 |