共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种外延基座以及外延设备
被引：0
申请号：
CN202011623530.3
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN114686975A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
于源源
曹共柏
潘帅
申请人：
申请人地址：
201306 上海市浦东新区临港新城云水路1000号
IPC主分类号：
C30B2512
IPC分类号：
C30B2510
H01J3732
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
冯永贞
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/12 申请日:20201231 |