一种晶圆清洗装置

被引：0

申请号：

CN202123207182.4

申请日：

2021-12-20

公开(公告)号：

CN216631792U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

胡建军

申请人：

申请人地址：

215101 江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B102 B08B1300 H01L2167

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN218133634U ,2022-12-27

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

李雨 ;

陈亮 ;

范存东 ;

李静 ;

王燚迪 .

中国专利 :CN222421896U ,2025-01-28

[3]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[4]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[5]

一种晶圆表面清洗装置 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212570944U ,2021-02-19

[6]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

[7]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[8]

一种晶圆清洗用胶圈及晶圆清洗装置 [P].

蔡春月 ;

汪志宇 .

中国专利 :CN221269032U ,2024-07-05

[9]

一种圆晶加工用清洗装置 [P].

张俊 ;

李凤丽 .

中国专利 :CN222705465U ,2025-04-01

[10]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25

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