一种全自动光掩膜板清洗机

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申请号
CN202222024516.2
申请日
2022-08-02
公开(公告)号
CN217911829U
公开(公告)日
2022-11-29
发明(设计)人
王炫铭 王伟 王静
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区科灵路78号苏州高新软件园7号楼1楼101-13室
IPC主分类号
B08B302
IPC分类号
B08B102 B08B1300 B08B314 F26B2100 H01L2167
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种石英光掩膜板全自动清洗机 [P]. 
王炫铭 ;
王伟 ;
王静 .
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[2]
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[3]
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[4]
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[10]
一种全自动清洗机 [P]. 
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全秋生 .
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