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一种掩膜板清洗机药液检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922339048.6
申请日：
2019-12-24
公开(公告)号：
CN211207070U
公开(公告)日：
2020-08-07
发明(设计)人：
张麒麟
卢玄龙
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号：
G03F184
IPC分类号：
G03F182
代理机构：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：
徐剑兵;张忠波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-07 | 授权 | 授权 |