蒸镀装置及蒸镀系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820994127.3
申请日
2018-06-26
公开(公告)号
CN208430219U
公开(公告)日
2019-01-25
发明(设计)人
王燕锋 陆鹏 刘成 崔永鑫
申请人
申请人地址
065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
代理机构
上海波拓知识产权代理有限公司 31264
代理人
杨波
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
蒸镀组件及蒸镀系统 [P]. 
王浩田 ;
陶敏 ;
杨小翠 .
中国专利 :CN208965014U ,2019-06-11
[2]
蒸镀托盘及蒸镀装置 [P]. 
陈锐 ;
张龙 ;
石建华 ;
范斌 .
中国专利 :CN217997308U ,2022-12-09
[3]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
马昆松 ;
梁作 ;
任虎鸣 .
中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20
[4]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
邓博为 .
中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09
[5]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
沈文涛 ;
高超飞 ;
葛晶涛 ;
刘旭亮 ;
张明照 .
中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03
[6]
蒸镀机构及蒸镀装置 [P]. 
焦鑫鹏 ;
刘志康 ;
伽龙 ;
吴明忠 .
中国专利 :CN222948452U ,2025-06-06
[7]
蒸镀单元及蒸镀装置 [P]. 
李灏 ;
罗志忠 .
中国专利 :CN209722278U ,2019-12-03
[8]
蒸镀样品台及蒸镀装置 [P]. 
韩晓东 ;
唐鹏飞 ;
张剑飞 ;
贺俊海 ;
杨国 ;
王昊伟 .
中国专利 :CN221235645U ,2024-06-28
[9]
蒸镀坩埚和蒸镀系统 [P]. 
何瑞亭 ;
李晓康 .
中国专利 :CN206289297U ,2017-06-30
[10]
蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P]. 
牛玉山 ;
刘科雷 .
中国专利 :CN206015075U ,2017-03-15