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承载装置及半导体工艺设备
被引：0
申请号：
CN202220958827.3
申请日：
2022-04-24
公开(公告)号：
CN217444362U
公开(公告)日：
2022-09-16
发明(设计)人：
商家强
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
兰天爵
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-16 | 授权 | 授权 |