共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
承载装置及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422838523.5
申请日：
2024-11-20
公开(公告)号：
CN223422822U
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
马煜峰
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
C30B25/08
C30B25/14
C23C16/458
C23C16/455
H01L21/673
H01L21/67
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-10 | 授权 | 授权 |