半导体晶圆片切割刃料的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010210889.8
申请日
2010-06-28
公开(公告)号
CN101891194B
公开(公告)日
2010-11-24
发明(设计)人
罗小军 姜维海 宋贺臣 郝玉辉 李要正
申请人
申请人地址
475000 河南省开封市禹王台区开封市精细化工园区
IPC主分类号
C01B3136
IPC分类号
代理机构
郑州大通专利商标代理有限公司 41111
代理人
樊羿
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
晶硅片切割刃料的制备方法 [P]. 
罗小军 ;
姜维海 ;
宋贺臣 ;
郝玉辉 .
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[2]
晶硅片切割刃料的制备方法 [P]. 
吕军超 .
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[3]
半导体晶圆切割用粘合片和半导体晶圆的切割方法 [P]. 
杉村敏正 ;
高桥智一 ;
川岛教孔 ;
浅井文辉 .
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[4]
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李宏 ;
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[5]
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[6]
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