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测量系统、控制装置及测量方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201711370635.0
申请日：
2017-12-18
公开(公告)号：
CN108627118B
公开(公告)日：
2018-10-09
发明(设计)人：
铃木祐太 椹木洋 近藤智则 金谷义宏
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地
IPC主分类号：
G01B1124
IPC分类号：
G06F1502 G06F1578
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-09 公开 公开
2018-11-02 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20171218
2020-06-23 授权 授权
共 50 条
[1]
测量系统、测量装置及测量方法 [P]. 
宫川智树 .
日本专利 :CN120958292A ,2025-11-14
[2]
控制装置、测量系统、测量方法 [P]. 
板仓慎一郎 .
中国专利 :CN112987646A ,2021-06-18
[3]
测量装置、曝光装置、光刻系统、测量方法及曝光方法 [P]. 
柴崎祐一 .
中国专利 :CN111176084A ,2020-05-19
[4]
测量装置、测量系统及测量方法 [P]. 
石冢悠也 .
日本专利 :CN120813812A ,2025-10-17
[5]
测量装置、测量系统及测量方法 [P]. 
大森启史 .
中国专利 :CN111521247A ,2020-08-11
[6]
测量装置、测量系统及测量方法 [P]. 
松田京子 ;
足立佳久 ;
奥村哲也 .
日本专利 :CN119033330A ,2024-11-29
[7]
NV色心测量装置、芯片测量系统及测量方法 [P]. 
田腾 ;
赵龙 ;
耿佳琪 ;
王恩惠 ;
仇茹嘉 ;
薛冰 ;
袁一玮 ;
胡啸宇 ;
王庆军 ;
张淑娟 ;
史伟豪 ;
高彪 ;
张晨晨 ;
翟玥 .
中国专利 :CN120610212B ,2025-10-10
[8]
NV色心测量装置、芯片测量系统及测量方法 [P]. 
田腾 ;
赵龙 ;
耿佳琪 ;
王恩惠 ;
仇茹嘉 ;
薛冰 ;
袁一玮 ;
胡啸宇 ;
王庆军 ;
张淑娟 ;
史伟豪 ;
高彪 ;
张晨晨 ;
翟玥 .
中国专利 :CN120610212A ,2025-09-09
[9]
测量装置、测量系统、测量方法及程序 [P]. 
福家康隆 ;
小松洋音 ;
关根裕一 ;
依田秀夫 ;
小寺寿一 ;
齐藤英治 ;
小林新一 .
日本专利 :CN115362363B ,2025-06-17
[10]
测量装置、测量系统、测量方法及程序 [P]. 
福家康隆 ;
小松洋音 ;
关根裕一 ;
依田秀夫 ;
小寺寿一 ;
齐藤英治 ;
小林新一 .
中国专利 :CN115362363A ,2022-11-18
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