硅片检测工具及检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910025195.4
申请日
2009-02-23
公开(公告)号
CN101504266A
公开(公告)日
2009-08-12
发明(设计)人
邹春梅 龚海英
申请人
申请人地址
214028江苏省无锡市新区新华路12号
IPC主分类号
G01B314
IPC分类号
G01B502 G01B508 B07C506
代理机构
无锡市大为专利商标事务所
代理人
曹祖良
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[41]
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