波前测量方法及装置、以及曝光方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380027918.9

申请日：

2013-05-29

公开(公告)号：

CN104335021B

公开(公告)日：

2015-02-04

发明(设计)人：

大泷桂杉崎克己玄间隆志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

G02B2102 G03F720 H01L21027

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李洋;杨林森

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	授权	授权
2015-02-04	公开	公开
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614633614 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2013800279189 申请日:20130529

共 50 条

[1]

波前测量方法及装置、以及曝光方法及装置 [P].

大泷桂 ;

杉崎克己 ;

玄间隆志 .

中国专利 :CN110261067B ,2019-09-20

[2]

测量装置及测量方法、曝光装置及曝光方法、以及器件制造方法 [P].

上田哲宽 .

中国专利 :CN107407894A ,2017-11-28

[3]

测量方法、测量装置、曝光方法及曝光装置 [P].

小林满 ;

安田雅彦 .

中国专利 :CN100463108C ,2007-05-09

[4]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN101755188A ,2010-06-23

[5]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111588A ,2014-10-22

[6]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111589A ,2014-10-22

[7]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111587A ,2014-10-22

[8]

波前测量装置和波前测量方法 [P].

近藤刚史 .

中国专利 :CN102914374A ,2013-02-06

[9]

波前测量装置和波前测量方法 [P].

川合一希 ;

小林觉 ;

加藤义则 ;

关根尊史 ;

森田宇亮 ;

池谷有贵 ;

井口琢斗 .

日本专利 :CN118401814A ,2024-07-26

[10]

波前测量设备及波前测量方法 [P].

谈顺毅 .

中国专利 :CN111256956A ,2020-06-09

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