尘埃检测系统及尘埃检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310177641.X

申请日：

2013-05-14

公开(公告)号：

CN104157593B

公开(公告)日：

2014-11-19

发明(设计)人：

李兴华王振辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01J37317 H01J37244

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101591749945 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201310177641X 申请日:20130514
2017-06-16	授权	授权
2014-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

尘埃浓度检测装置和尘埃浓度检测方法 [P].

聂泳忠 ;

林梅英 .

中国专利 :CN105784555A ,2016-07-20

[2]

高精度光电尘埃颗粒检测装置及检测方法 [P].

曲敬镭 ;

朱春灵 ;

张建式 .

中国专利 :CN105115880A ,2015-12-02

[3]

尘埃粒子检测系统及药粉灌装生产线 [P].

吴海涛 ;

杨东磊 ;

王择强 ;

赵奕辉 .

中国专利 :CN118464736A ,2024-08-09

[4]

高精度光电尘埃颗粒检测装置 [P].

曲敬镭 ;

朱春灵 ;

张建式 .

中国专利 :CN205003058U ,2016-01-27

[5]

一种尘埃粒子检测仪 [P].

陈国光 ;

马远武 .

中国专利 :CN113188963B ,2024-03-22

[6]

一种尘埃粒子检测仪 [P].

陈国光 ;

马远武 .

中国专利 :CN113188963A ,2021-07-30

[7]

一种室内空气尘埃粒子浓度检测方法 [P].

万桂波 ;

尹荣鑫 .

中国专利 :CN120009141A ,2025-05-16

[8]

半导体结构、检测方法及检测系统 [P].

陈彦樵 .

中国专利 :CN118425724A ,2024-08-02

[9]

检测系统、检测方法及检测设备 [P].

陈鲁 ;

方一 ;

黄有为 ;

魏林鹏 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114624004A ,2022-06-14

[10]

半导体设备的检测系统及检测方法 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN113977451A ,2022-01-28

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