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OPC数据收集方法及OPC数据收集装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810512463.4
申请日：
2018-05-25
公开(公告)号：
CN108693714A
公开(公告)日：
2018-10-23
发明(设计)人：
夏睿 李天慧 龙海凤
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;陈丽丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-23 公开 公开
2021-02-26 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20181023
2018-11-16 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180525
共 50 条
[1]
OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P]. 
张昆 ;
张雷 .
中国专利 :CN114488680B ,2025-08-08
[2]
OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P]. 
张昆 ;
张雷 .
中国专利 :CN114488680A ,2022-05-13
[3]
数据收集装置及数据收集方法 [P]. 
五十岚悠一 ;
中野亮 ;
本田淳平 ;
柏原广茂 ;
西村卓真 .
中国专利 :CN109696889B ,2019-04-30
[4]
数据收集装置及数据收集方法 [P]. 
野岛章 .
中国专利 :CN103959187B ,2014-07-30
[5]
数据收集装置、程序及数据收集方法 [P]. 
石井孝幸 ;
尾高邦雄 ;
喜濑智文 ;
福嶋将行 ;
山崎美来 ;
中井祐贺子 ;
成井公一 .
日本专利 :CN118973386A ,2024-11-15
[6]
数据收集装置、数据收集方法、记录介质及数据收集系统 [P]. 
田中雅浩 .
日本专利 :CN118828426A ,2024-10-22
[7]
数据收集装置、数据收集方法、记录介质及数据收集系统 [P]. 
田中雅浩 .
中国专利 :CN118741459A ,2024-10-01
[8]
数据收集程序、数据收集装置以及数据收集方法 [P]. 
河东孝 ;
铃木彼方 ;
砂川太郎 ;
佐佐木智丈 .
日本专利 :CN117916746A ,2024-04-19
[9]
数据收集装置以及数据收集方法 [P]. 
竹内翔 ;
长堂嘉利 .
日本专利 :CN119816877A ,2025-04-11
[10]
数据收集装置以及数据收集方法 [P]. 
田中雅浩 .
中国专利 :CN113903104A ,2022-01-07
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