OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法

被引：0

申请号：

CN202111622746.2

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114488680A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

张昆张雷

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;张靖琳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20211228
2022-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P].

张昆 ;

张雷 .

中国专利 :CN114488680B ,2025-08-08

[2]

OPC数据收集方法及OPC数据收集装置 [P].

夏睿 ;

李天慧 ;

龙海凤 .

中国专利 :CN108693714A ,2018-10-23

[3]

OPC模型优化方法 [P].

俞海滨 ;

魏娟 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN114077156A ,2022-02-22

[4]

OPC模型优化方法 [P].

俞海滨 ;

魏娟 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN114077156B ,2025-07-22

[5]

OPC模型数据权重设置方法 [P].

汪牡丹 ;

蔡伟 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN114925635A ,2022-08-19

[6]

OPC模型数据权重设置方法 [P].

汪牡丹 ;

蔡伟 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN114925635B ,2025-09-02

[7]

数据收集系统及数据收集方法 [P].

中元秀友 ;

吉本光男 ;

八田正人 ;

龙崎崇和 ;

曾根正好 ;

西田英一 .

中国专利 :CN1791897A ,2006-06-21

[8]

数据收集系统及数据收集方法 [P].

新井崇 ;

吉田勇作 ;

佐藤秀一 ;

占部宏生 .

中国专利 :CN110703984A ,2020-01-17

[9]

数据收集方法及数据收集系统 [P].

王翔 ;

杨光 ;

金德强 ;

刘黎春 ;

朱静涛 ;

范成涛 ;

周斌 ;

徐东山 ;

黄斯亮 ;

黄耀明 ;

傅鸿城 ;

曹硕 ;

刘翔 ;

彭广立 ;

李海鸥 ;

孙娟 ;

李丹 .

中国专利 :CN103810202B ,2014-05-21

[10]

OPC模型仿真方法 [P].

金晓亮 .

中国专利 :CN113591290B ,2024-02-06

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