OPC模型优化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111399596.3

申请日：

2021-11-24

公开(公告)号：

CN114077156B

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

俞海滨魏娟于世瑞

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

OPC模型优化方法 [P].

俞海滨 ;

魏娟 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN114077156A ,2022-02-22

[2]

OPC建模量测图形数据选择方法 [P].

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114077157A ,2022-02-22

[3]

OPC建模量测图形数据选择方法 [P].

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114077157B ,2025-08-29

[4]

OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P].

张昆 ;

张雷 .

中国专利 :CN114488680B ,2025-08-08

[5]

OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P].

张昆 ;

张雷 .

中国专利 :CN114488680A ,2022-05-13

[6]

光学模型的参数选取方法、OPC光学模型、OPC方法 [P].

周娴 ;

敖振宇 ;

陈咏翔 ;

曾鼎程 ;

范富杰 ;

胡展源 .

中国专利 :CN121142916A ,2025-12-16

[7]

建立OPC模型的方法 [P].

敖振宇 ;

曾鼎程 .

中国专利 :CN115202147B ,2025-07-25

[8]

OPC模型的建模方法 [P].

左凯 .

中国专利 :CN120406040A ,2025-08-01

[9]

OPC后的检测模型及其建立方法、优化OPC验证的方法 [P].

敖振宇 ;

陈咏翔 ;

曾鼎程 ;

范富杰 ;

胡展源 .

中国专利 :CN119322424A ,2025-01-17

[10]

OPC模型仿真方法 [P].

金晓亮 .

中国专利 :CN113591290B ,2024-02-06

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