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光学模型的参数选取方法、OPC光学模型、OPC方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511464772.5
申请日：
2025-10-14
公开(公告)号：
CN121142916A
公开(公告)日：
2025-12-16
发明(设计)人：
周娴 敖振宇 陈咏翔 曾鼎程 范富杰 胡展源
申请人：
重庆芯联微电子有限公司
申请人地址：
401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
赖华东
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-16 公开 公开
共 50 条
[1]
OPC模型优化方法 [P]. 
俞海滨 ;
魏娟 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN114077156A ,2022-02-22
[2]
OPC模型优化方法 [P]. 
俞海滨 ;
魏娟 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN114077156B ,2025-07-22
[3]
建立OPC模型的方法 [P]. 
敖振宇 ;
曾鼎程 .
中国专利 :CN115202147B ,2025-07-25
[4]
OPC模型的建模方法 [P]. 
左凯 .
中国专利 :CN120406040A ,2025-08-01
[5]
OPC光学模型筛选方法及其筛选系统 [P]. 
郑惠锋 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN110688736A ,2020-01-14
[6]
OPC模型仿真方法 [P]. 
金晓亮 .
中国专利 :CN113591290B ,2024-02-06
[7]
OPC模型仿真方法 [P]. 
金晓亮 .
中国专利 :CN113591290A ,2021-11-02
[8]
OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P]. 
张昆 ;
张雷 .
中国专利 :CN114488680B ,2025-08-08
[9]
OPC模型的量化评估方法 [P]. 
伍思昕 ;
杨颖玥 ;
李玉莹 .
中国专利 :CN119882360B ,2025-09-30
[10]
OPC模型的量化评估方法 [P]. 
伍思昕 ;
杨颖玥 ;
李玉莹 .
中国专利 :CN119882360A ,2025-04-25
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