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OPC模型的量化评估方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510105516.0
申请日：
2025-01-23
公开(公告)号：
CN119882360A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
伍思昕 杨颖玥 李玉莹
申请人：
上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
刘昌荣
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-25 公开 公开
2025-09-30 授权 授权
2025-05-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250123
共 50 条
[1]
OPC模型的量化评估方法 [P]. 
伍思昕 ;
杨颖玥 ;
李玉莹 .
中国专利 :CN119882360B ,2025-09-30
[2]
光学模型的参数选取方法、OPC光学模型、OPC方法 [P]. 
周娴 ;
敖振宇 ;
陈咏翔 ;
曾鼎程 ;
范富杰 ;
胡展源 .
中国专利 :CN121142916A ,2025-12-16
[3]
建立OPC模型的方法 [P]. 
敖振宇 ;
曾鼎程 .
中国专利 :CN115202147B ,2025-07-25
[4]
OPC模型的建模方法 [P]. 
左凯 .
中国专利 :CN120406040A ,2025-08-01
[5]
OPC模型仿真方法 [P]. 
金晓亮 .
中国专利 :CN113591290B ,2024-02-06
[6]
OPC模型优化方法 [P]. 
俞海滨 ;
魏娟 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN114077156A ,2022-02-22
[7]
OPC模型优化方法 [P]. 
俞海滨 ;
魏娟 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN114077156B ,2025-07-22
[8]
OPC模型仿真方法 [P]. 
金晓亮 .
中国专利 :CN113591290A ,2021-11-02
[9]
OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法 [P]. 
张昆 ;
张雷 .
中国专利 :CN114488680B ,2025-08-08
[10]
基于面积的OPC模型校准方法 [P]. 
王良 .
中国专利 :CN104698761B ,2015-06-10
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