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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-07-20 | 公开 | 公开 |
| 2013-01-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101383318358 IPC(主分类):H01L 35/28 专利申请号:2011100078712 申请日:20110114 |
| 2015-09-09 | 授权 | 授权 |