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抗反射用硬掩模组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010037447.1
申请日：
2020-01-14
公开(公告)号：
CN111458981A
公开(公告)日：
2020-07-28
发明(设计)人：
崔相俊
金完郁
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道天安市东南区竝川面忠节路1600,304
IPC主分类号：
G03F709
IPC分类号：
代理机构：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人：
郑青松
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/09 申请日:20200114 |