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一种基于薄膜溅射的抗过载扭矩传感器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011519048.5
申请日：
2020-12-21
公开(公告)号：
CN112611489A
公开(公告)日：
2021-04-06
发明(设计)人：
姜鑫 高波 屈文轩 潘婷 蔺露
申请人：
申请人地址：
710025 陕西省西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号
IPC主分类号：
G01L310
IPC分类号：
代理机构：
北京理工大学专利中心 11120
代理人：
梁倩;廖辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-04-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 3/10 申请日:20201221
2021-04-06 公开 公开
共 50 条
[1]
具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器 [P]. 
雷卫武 ;
徐承义 ;
陈兆仁 ;
刘素夫 ;
徐建 .
中国专利 :CN215004038U ,2021-12-03
[2]
薄膜扭矩传感器 [P]. 
雷卫武 ;
曾朋辉 .
中国专利 :CN206627234U ,2017-11-10
[3]
溅射薄膜型冲击力传感器 [P]. 
邓勇生 ;
李建江 ;
高罗强 ;
彭旗 .
中国专利 :CN206235423U ,2017-06-09
[4]
基于溅射薄膜技术的高性能扭矩传感器 [P]. 
雷卫武 ;
曾朋辉 .
中国专利 :CN106768537A ,2017-05-31
[5]
基于溅射薄膜技术的高性能扭矩传感器 [P]. 
雷卫武 ;
曾朋辉 .
中国专利 :CN206725134U ,2017-12-08
[6]
具有过载保护功能的高灵敏度薄膜扭矩传感器 [P]. 
雷卫武 ;
徐承义 ;
陈兆仁 ;
刘素夫 ;
徐建 .
中国专利 :CN215004037U ,2021-12-03
[7]
一种基于薄膜溅射技术的一体式多维力传感器 [P]. 
姜鑫 ;
屈文轩 ;
王毅 ;
雷玥 ;
郭珊珊 ;
张少冲 .
中国专利 :CN114720028A ,2022-07-08
[8]
一种基于薄膜溅射技术的一体式多维力传感器 [P]. 
姜鑫 ;
屈文轩 ;
王毅 ;
雷玥 ;
郭珊珊 ;
张少冲 .
中国专利 :CN114720028B ,2024-09-06
[9]
一种薄膜扭矩传感器芯片及制造方法 [P]. 
雷卫武 .
中国专利 :CN107894295A ,2018-04-10
[10]
一种基于结构解耦的扭矩传感器 [P]. 
韦学勇 ;
张智权 ;
宋嘉濠 .
中国专利 :CN120740831A ,2025-10-03
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