一种基于FMCW的纳米级厚度测试系统及方法

被引：0

申请号：

CN202210681430.9

申请日：

2022-06-15

公开(公告)号：

CN115014214A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

代冰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市福田区园岭街道上林社区八卦三路88-8号清凤荣盛创投大厦805

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465

代理人：

符继超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20220615
2023-02-03	授权	授权
2022-09-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于LabVIEW的DOE光学性能测试系统及方法 [P].

奂微微 ;

薛军明 ;

顾良慧 ;

赵悦 ;

张浩宇 ;

邹峰 .

中国专利 :CN120176997A ,2025-06-20

[2]

一种基于双激光器发射的集成光纤测试系统及方法 [P].

张玉娇 ;

荣鹏 ;

陈典 ;

王志鹏 ;

莫文静 .

中国专利 :CN118764081A ,2024-10-11

[3]

具有纳米级分辨率的空间电荷测试系统及方法 [P].

张颖 ;

李悠 ;

王暄 .

中国专利 :CN110118756A ,2019-08-13

[4]

微纳米级原位纳米压痕刻划测试系统 [P].

赵宏伟 ;

黄虎 ;

曲兴田 ;

曲涵 ;

隋航 .

中国专利 :CN101876609A ,2010-11-03

[5]

微纳米级原位纳米压痕刻划测试系统 [P].

赵宏伟 ;

黄虎 ;

曲兴田 ;

曲涵 ;

隋航 .

中国专利 :CN201689021U ,2010-12-29

[6]

基于可调谐激光的光谱透过率测试系统及方法 [P].

刘华松 ;

何家欢 ;

樊荣伟 ;

季一勤 .

中国专利 :CN109115730A ,2019-01-01

[7]

纳米级间隙电火花放电测试系统及方法 [P].

佟浩 ;

权冉 ;

孔全存 ;

李勇 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN110275097B ,2019-09-24

[8]

一种基于RSOA的FBG传感解调装置及方法 [P].

张治国 ;

陈雪 ;

张民 ;

王立芊 .

中国专利 :CN102645235A ,2012-08-22

[9]

一种纳米级波带片成像分辨率测试的方法及装置 [P].

王山峰 ;

袁清习 ;

张凯 ;

黄万霞 .

中国专利 :CN111721784A ,2020-09-29

[10]

基于光强检测的调频激光测距系统快速调焦装置及方法 [P].

郭天茂 ;

刘柯 ;

滕晓 ;

鲍晨兴 ;

王晓光 .

中国专利 :CN112505655A ,2021-03-16

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