离子源清洁方法及其装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980130611.5

申请日：

2009-06-18

公开(公告)号：

CN102113094A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

科斯特尔·拜洛奎格·R·钱尼艾利克·R·科布本雄·具威尔汉·P·普拉托

申请人：

申请人地址：

美国麻萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L21265

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

臧建明

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101734897388 IPC(主分类):H01L 21/265 专利申请号:2009801306115 申请公布日:20110629
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096116231 IPC(主分类):H01L 21/265 专利申请号:2009801306115 申请日:20090618
2011-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

中国专利 :CN111640639A ,2020-09-08

[2]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

日本专利 :CN111640639B ,2024-03-22

[3]

离子源电极的清洁装置 [P].

松本武 ;

中尾和浩 ;

厚主诚 .

中国专利 :CN103094028A ,2013-05-08

[4]

加里·普劳德富特 ;

戈登·罗伯特·格林 ;

罗伯特·肯尼思·特罗韦尔 .

中国专利 :CN101490789A ,2009-07-22

[5]

P·班克斯 .

中国专利 :CN1922709A ,2007-02-28

[6]

六氟化硫远程清洁等离子源 [P].

崔寿永 ;

王群华 .

中国专利 :CN1782133A ,2006-06-07

[7]

离子源清洗装置 [P].

陈佳尊 ;

胡国栋 ;

王培红 ;

李晨光 .

中国专利 :CN206477018U ,2017-09-08

[8]

离子源（霍尔） [P].

缪同群 ;

谢圣鸣 .

中国专利 :CN307391274S ,2022-06-07

[9]

等离子源 [P].

江部明宪 .

日本专利 :CN112702829B ,2025-08-15

[10]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

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