六氟化硫远程清洁等离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510114111.6

申请日：

2005-10-19

公开(公告)号：

CN1782133A

公开(公告)日：

2006-06-07

发明(设计)人：

崔寿永王群华

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23F400

IPC分类号：

C23F112 C23C16513 H01L21205

代理机构：

上海新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-02-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-06-07	公开	公开
2010-02-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统 [P].

魏景峰 ;

荣延栋 .

中国专利 :CN110899271B ,2020-03-24

[2]

等离子源 [P].

江部明宪 .

日本专利 :CN112702829B ,2025-08-15

[3]

等离子源 [P].

格里格·莫菲尔 ;

伯尔尼·史蒂夫 .

中国专利 :CN101731024A ,2010-06-09

[4]

等离子源 [P].

江部明宪 .

中国专利 :CN112702829A ,2021-04-23

[5]

远程等离子源发射器 [P].

冼健威 ;

颜罕 ;

邓富友 .

中国专利 :CN309660288S ,2025-12-09

[6]

一种远程等离子源腔体 [P].

黄星星 ;

杨振怀 ;

郭晓东 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN119255467B ,2025-11-14

[7]

一种远程等离子源腔体 [P].

黄星星 ;

杨振怀 ;

郭晓东 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN119255467A ,2025-01-03

[8]

远程等离子源电源（45L） [P].

冼健威 ;

颜罕 ;

邓富友 .

中国专利 :CN309567050S ,2025-10-28

[9]

产生等离子的等离子源线圈和使用等离子源的等离子腔 [P].

金南宪 ;

金俊宪 .

中国专利 :CN1292623C ,2005-02-09

[10]

等离子源以及等离子处理装置 [P].

江部明宪 .

中国专利 :CN109479369A ,2019-03-15

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