一种远程等离子源腔体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411519066.1

申请日：

2024-10-29

公开(公告)号：

CN119255467B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

黄星星杨振怀郭晓东胡强侯少毅

申请人：

季华实验室

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

代理机构：

广东海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

许家裕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05H 1/46申请日:20241029
2025-01-03	公开	公开
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种远程等离子源腔体 [P].

黄星星 ;

杨振怀 ;

郭晓东 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN119255467A ,2025-01-03

[2]

一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN114999884B ,2025-01-28

[3]

一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN114999884A ,2022-09-02

[4]

一种远程等离子源真空腔体 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN216015288U ,2022-03-11

[5]

一种远程等离子源真空腔体 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN113889393A ,2022-01-04

[6]

一种远程等离子源真空腔体 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN113889393B ,2025-04-25

[7]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN115002997A ,2022-09-02

[8]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 ;

黄影 .

中国专利 :CN218041882U ,2022-12-13

[9]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN115002997B ,2025-11-04

[10]

等离子源 [P].

格里格·莫菲尔 ;

伯尔尼·史蒂夫 .

中国专利 :CN101731024A ,2010-06-09

← 1 2 3 4 5 →