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一种远程等离子源真空腔体
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121845492.6
申请日：
2021-08-09
公开(公告)号：
CN216015288U
公开(公告)日：
2022-03-11
发明(设计)人：
张德才
洪靖为
申请人：
申请人地址：
201100 上海市闵行区东川路555号戊楼5117室
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374
代理人：
汪发成
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 授权 | 授权 |