一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210741245.4

申请日：

2022-06-27

公开(公告)号：

CN114999884B

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

张德才洪靖为

申请人：

上海财盈半导体股份有限公司

申请人地址：

201100 上海市闵行区东川路555号戊楼5117室

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

B01D53/32

代理机构：

代理人：

法律状态：

hcaiwin.com 电话：18001380776发明名称:一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源使用费支付方式:入门费+提成（提成比例）使用费支付标准:采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为500000元，提成费按当年度合同产品净销售额的5%提取。授权公告日:20250128许可期限届满日:20261231生效日期:20251021

国省代码：

上海市市辖区

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共 50 条

[1]

一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN114999884A ,2022-09-02

[2]

一种远程等离子源腔体 [P].

黄星星 ;

杨振怀 ;

郭晓东 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN119255467B ,2025-11-14

[3]

一种远程等离子源腔体 [P].

黄星星 ;

杨振怀 ;

郭晓东 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN119255467A ,2025-01-03

[4]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN115002997A ,2022-09-02

[5]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 ;

黄影 .

中国专利 :CN218041882U ,2022-12-13

[6]

一种远程等离子源解离腔体组件 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN115002997B ,2025-11-04

[7]

一种采用陶瓷腔体的等离子源 [P].

张德才 ;

洪靖为 ;

黄影 .

中国专利 :CN218041885U ,2022-12-13

[8]

等离子源 [P].

格里格·莫菲尔 ;

伯尔尼·史蒂夫 .

中国专利 :CN101731024A ,2010-06-09

[9]

一种远程等离子源真空腔体 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN216015288U ,2022-03-11

[10]

一种远程等离子源真空腔体 [P].

张德才 ;

洪靖为 .

中国专利 :CN113889393A ,2022-01-04

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-21	hcaiwin.com 电话：18001380776发明名称:一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源使用费支付方式:入门费+提成（提成比例）使用费支付标准:采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为500000元，提成费按当年度合同产品净销售额的5%提取。授权公告日:20250128许可期限届满日:20261231生效日期:20251021	开放许可声明IPC(主分类):H01J 37/32声明编号:XK2025980010667申请日:20220627专利权人:上海财盈半导体股份有限公司联系方式:联系人姓名：宰艳娜邮编：201108 地址：上海市闵行区都会路1835号喜讯工业园11幢2楼电子邮箱：yanna.zai
2025-01-28	授权	授权