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远程等离子源电源(45L)
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN202530042073.6
申请日
:
2025-01-22
公开(公告)号
:
CN309567050S
公开(公告)日
:
2025-10-28
发明(设计)人
:
冼健威
颜罕
邓富友
申请人
:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
申请人地址
:
523000 广东省东莞市长安镇新安横中路33号1栋101室
IPC主分类号
:
13-02
IPC分类号
:
代理机构
:
深圳东阳光知识产权代理有限公司 441151
代理人
:
叶玉凤
法律状态
:
授权
国省代码
:
辽宁省 丹东市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-10-28
授权
授权
共 50 条
[1]
远程等离子源发射器
[P].
冼健威
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机构:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
冼健威
;
颜罕
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机构:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
颜罕
;
邓富友
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机构:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
邓富友
.
中国专利
:CN309660288S
,2025-12-09
[2]
远程等离子源(Major-0610L-Q01)
[P].
窦振华
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
窦振华
;
殷志诚
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
殷志诚
;
顾小军
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
顾小军
;
潘小刚
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
潘小刚
;
朱国俊
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
朱国俊
.
中国专利
:CN309080964S
,2025-01-21
[3]
远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统
[P].
魏景峰
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魏景峰
;
荣延栋
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荣延栋
.
中国专利
:CN110899271B
,2020-03-24
[4]
等离子源
[P].
江部明宪
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0
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机构:
EMD株式会社
EMD株式会社
江部明宪
.
日本专利
:CN112702829B
,2025-08-15
[5]
等离子源
[P].
格里格·莫菲尔
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格里格·莫菲尔
;
伯尔尼·史蒂夫
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伯尔尼·史蒂夫
.
中国专利
:CN101731024A
,2010-06-09
[6]
等离子源
[P].
江部明宪
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0
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江部明宪
.
中国专利
:CN112702829A
,2021-04-23
[7]
远程等离子源(Major-0610L-Q02W)
[P].
殷志诚
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
殷志诚
;
窦振华
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
窦振华
;
顾小军
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
顾小军
;
潘小刚
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
潘小刚
;
朱国俊
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机构:
江苏神州半导体科技有限公司
江苏神州半导体科技有限公司
朱国俊
.
中国专利
:CN309080965S
,2025-01-21
[8]
真空电弧等离子源
[P].
缪同群
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缪同群
;
谢圣鸣
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0
谢圣鸣
.
中国专利
:CN307412498S
,2022-06-21
[9]
六氟化硫远程清洁等离子源
[P].
崔寿永
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崔寿永
;
王群华
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王群华
.
中国专利
:CN1782133A
,2006-06-07
[10]
一种远程等离子源腔体
[P].
黄星星
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机构:
季华实验室
季华实验室
黄星星
;
杨振怀
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机构:
季华实验室
季华实验室
杨振怀
;
郭晓东
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季华实验室
季华实验室
郭晓东
;
胡强
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季华实验室
季华实验室
胡强
;
侯少毅
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机构:
季华实验室
季华实验室
侯少毅
.
中国专利
:CN119255467B
,2025-11-14
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